基于标准漏孔比对法的漏率测量装置

为了评估真空密封的密封性能，采用了基于标准泄漏比较的漏率测量方法，包括动态比较法和静态累积比较法。通过四极质谱仪比较标准泄漏产生的离子流和从密封中流出的气体，并使用已知的标准泄漏泄漏率和四极质谱仪离子响应的线性外推计算密封的泄漏率。研制了一套密封泄漏率测量装置。该装置的极限真空度可达Pa10-7量级。测量范围为10-7Pa．m3/秒～10-14Pa．m3/秒，可用于具有泄漏检测接口的各种密封件的泄漏率测量。利用该装置的两种方法对不锈钢刀口密封的泄漏率进行了测试。结果表明，动态比较法对不锈钢刀口密封泄漏率的测试误差较大，低于10-11的极低泄漏率密封更适合采用静态累积比较法进行测试。