一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬

针对传统微波等离子体装置功率低、加工效率低、激发场强低的问题，在一定程度上限制了微波等离子体的工业应用，提出了一种三端口椭圆聚焦高功率微波等离子体炬装置的设计方法。根据椭圆的光学结构，在有限元分析法电磁模拟的基础上，对椭圆腔体进行了优化。模拟和实验结果表明，该装置能量聚焦区的电场能通过外部激发能激发等离子体，可用于治疗癌症。对今后大功率多端口微波等离子体器件的设计也有一定的参考价值。