大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究

鉴于碲镉汞红外焦平面探测器对高质量、大规模碲镉汞材料的需求日益增加，本文采用分子束外延方法，在50mm50mm（211）B的碲锌镉衬底上研究了碲镉汞材料的外延工艺。通过对改善碲锌镉基材湿化学腐蚀、碲锌镉基材预处理、碲锌镉基材缓冲层生长和碲锌镉基碲镉汞材料技术发展的研究，开发了一种稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺。材料质量和工艺重复性良好。获得的碲锌镉基碲镉汞材料双晶衍射半峰宽（355）arcsec的平均成分值为0.2160，碲镉汞薄膜材料的平均厚度为6.06m。