新型微光机电系统惯性测量技术研究进展

微惯性测量单元是惯性导航系统的核心部件，也是构建微定位导航授时系统（PNT）的重要组成部分。目前，成熟的微惯性测量单元主要基于微机电系统（MEMS），其性能逐渐难以满足新无人驾驶车高精度惯性导航、无人机、制导弹药、航空航天等军民领域的性能要求。近年来，为了突破惯性测量单元（SWaP）性能、尺寸、重量和功耗之间相互制约的关键技术问题，各种新的微惯性测量技术被提出。本文旨在系统总结近年来国内外常规的MEMS惯性测量技术，以及新微光机电系统（MOEMS）惯性测量、微腔光部队惯性测量和量子精密测量，并展望了未来高精度惯性测量新技术的发展趋势，提出了一种基于腔光力系统的量子增强惯性测量技术。