Enhanced ferroelectric polarization with less wake-up effect and improved endurance of Hf0.5Zr0.5O2 thin films by implementing W electrode

本文报道了hf0在电学、铁电和耐久性方面的改进。5zr0。5o2（HZO）薄电容器，采用w电气。w/HZO/w电容器在6V电压下显示出极好的原始Prvaluesof45.1gC/cm~2，这　是　很　较高的　比　那些　属于　锡／hzo／w（34.4　c／cm～2）　和　w／hzo／tin（26.9　c／cm～2）　值得注意的是　最大限度　最初的　2.　公共关系　价值　属于　w／hzo／w　电容器　可以　达到　像　高的　像　57.9C／cm～2　在　7．5　v、 这些　坚强的　铁电体　两极分化　影响　是　归因于　到　这个　W　电极　具有　A.　相当地　低的　热的　膨胀　系数　哪一个　提供　A.　更大的　机内　张力的　拉紧　相比　具有　锡　电子颂歌，允许　对于　增强　属于　o相　形成。此外　w／hzo／w　电容器　而且　展览　较高的　耐力，更小　醒醒　影响（10.1%）　和　优越的　疲劳　属性　向上的　到　1．51010　周期　相比　到　这个　锡／hzo／w　和　w／hzo／tin　电容器等等　改进　属于　w／hzo／w　电容器　是　主要地　由于　到　这个　降低　泄漏量　现在的　通过　更多　比　一　顺序　属于　巨大　相比　到　这个　w／hzo／tin　这些　后果　证明　那个　封顶　电极　布料　演奏　一　重要的　角色　在里面　这个　增强　属于　o相　形成，减少　氧气　空缺，缓解　醒醒　效应　和　改善　可靠性。