电镜工作条件对特殊样品荷电及热损伤效应的影响

扫描电子显微镜主要用于表征和分析样品的微观结构，广泛应用于科学研究和实际工作中。荷电现象和热损伤是严重影响SEM图像质量的两种最常见的现象。这会导致图像的异常对比度和变形，这在导电性差或热敏性强的样品的形态表征中非常常见。通过对无机非金属材料和有机纳米材料等导电性较差的样品进行实验对比，发现通过调整加速电压、探头选择、信号选择和图像采集方式等参数，可以有效地减少SEM图像的荷电现象。以热敏性强的钢和铝合金为对象，通过实验对比发现，通过加速电压、探头选择、调整工作距离、WD等参数，可以有效地降低SEM图像的热损伤，从而提高图像质量，获得更真实的微观结构信息。